Lam RESEARCH พัฒนา Dextro หุ่นยนต์สำหรับซ่อมบำรุง Fab เซมิคอนดักเตอร์
Lan
RESEARCH หนึ่งในบริษัทที่ทรงอิทธิพลสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
พัฒนาหุ่นยนต์ Dextro ซึ่งเป็นหุ่นยนต์ Cobot ตัวแรกที่ถูกออกแบบมาสำหรับงานซ่อมบำรุง Fab ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์โดยเฉพาะ
เพราะความแม่นยำเป็นทุกสิ่งสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
โดยเฉพาะอย่างยิ่งในช่วงเวลาที่ความต้องการด้าน AI ทวีคูณขึ้นอย่างในปัจจุบัน
ความผิดพลาดจากการซ่อมบำรุงเพียงเล็กน้อยก็สามารถทำให้เกิดความสูญเสียของ Yield
ที่มีนัยสำคัญและเกิด Downtime ที่มีต้นทุนสูงได้
ความท้าทายเหล่านี้นับวันจะยิ่งเพิ่มมากขึ้นอย่างต่อเนื่องตามบริบทของความต้องการด้านการประมวลผลที่สูงขึ้น
ความผิดพลาดเล็กน้อยจึงสามารถขยายผลลัพธ์ของความเสียหายได้มหาศาล
Lam
RESEARCH หนึ่งในผู้เชี่ยวชาญชั้นนำในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
จึงได้พัฒนาโซลูชันสำหรับงานซ่อมบำรุง Fab เซมิคอนดักเตอร์โดยเฉพาะขึ้นมาโดยใช้พื้นฐานจากหุ่นยนต์
Cobot ซึ่งมีจุดเด่นที่สามารถใช้งานได้ง่าย น้ำหนักเบา
มีความแม่นยำสูง
และหลายรุ่นในปัจจุบันได้ถูกออกแบบมาให้ใช้งานกับห้องปลอดฝุ่นได้อีกด้วย
https://youtu.be/cOcYCINuZDs?si=KSeLvSHTY-ma8avU
Dextro
ถูกพัฒนาขึ้นมาเพื่อยกระดับงานซ่อมบำรุงโรงงานเซมิคอนดักเตอร์หรือ Fab
ซึ่งถูกเปิดตัวในเดือนพฤษจิกายน 2024
ที่รองรับงานได้ 3 รูปแบบ ได้แก่ การติดตั้งแพลทด้านบน,
การเปลี่ยนชิ้นส่วนหรืออุปกรณ์สิ้นเปลือง และการทำความสะอาด Chamber
ที่ใช้ในการผลิต ในวันนี้ Dextro สามารถทำงานได้มากกว่า
34 แบบใน 6 กลุ่มผลิตภัณฑ์
ไม่ว่าจะเป็นการทำความสะอาดขอบและผิวหน้าของ ESC (Electrostatic Chuck), การทำความสะอาด Chamber ที่เปลี่ยนมุมได้ซับซ้อนยิ่งขึ้น,
การทำความสะอาดช่องใส่ Wafer, การติดตั้ง Edge
Rings, การติดตั้ง E-Seal และการตรวจสอบความเรียบร้อย,
การประกอบ Electroplating Cup ขึ้นใหม่,
ติดตั้งชิ้นส่วน และการติดตั้งตัวยึด (Fastener) ตลอดจนการสอบเทียบ (Calibration) ก็สามารถทำได้เช่นกัน
การเข้ามาของ Dextro
สามารถลดเวลาและความเสี่ยงที่อาจเกิดจากการทำงานของมนุษย์ในกระบวนการเหล่านี้ได้ด้วยความแม่นยำระดับ
99.99% ในการทำงานครั้งแรก และสามารถลดความผันแปร (Variability)
เมื่อนำมาใช้ในการซ่อมบำรุงตามกำหนดการณ์ประจำได้ถึง 2 เท่าเมื่อเปรียบเทียบกับการทำงานแบบดั้งเดิม
การเข้ามาเสริมในงานส่วนซ่อมบำรุงนั้นเปิดโอกาสให้เหล่าวิศวกรมากความสามารถไปทำงานที่มีคุณค่ายิ่งกว่าเดิมได้
การมาถึงของ Dextro
ไม่ได้สร้างการเปลี่ยนแปลงเฉพาะอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เท่านั้น
แต่ยังเป็นจุดเริ่มต้นของนิยาม Autonomous Maintenance ยุคใหม่ได้อย่างชัดเจน
จากความเชื่อดั้งเดิมที่เคยรับรู้กันว่าเทคโนโลยีใหม่สนับสนุนด้านข้อมูล
ช่วยวิเคราะห์ต่างๆ
แต่ในวันนี้กลับมาถึงยุคที่ระบบอัตโนมัติมีส่วนในการซ่อมบำรุงโรงงานในเชิงกายภาพได้จริง
และจะเพิ่มความสามารถเพิ่มขึ้นอย่างต่อเนื่องได้อีกด้วย
ที่มา : MMThailand
วันที่ 14 พ.ค. 2569
